Премиальное решение XY стола на аэростатичных подшипниках
с высокой точностью и скоростью позиционирования.
Решение производится в России, возможны опциональные модернизации.
XY стол на прямом приводе. Более высокие разрешение и точность позиционирования, меньше ошибка геометрии плоскости.
Экономичный вариант XY-стола на шаговых двигателях. Ниже точность, больше ошибка пространственной геометрии, что приведет
к увеличению времени подвода зондов
из-за необходимости исправления ошибки.
XYZ стол
позиционирования пластины